HORIBA GR-511F 晶圓背面冷卻系統壓力控制器
HORIBA GR-511F 晶圓背面冷卻系統壓力控制器
HORIBA GR-511F壓力控制器是一款專為晶圓背面冷卻系統設計的高精度設備,主要用于控制固定在靜電卡盤系統上的晶片背面的氣體流量。該產品的核心功能是通過穩定且精確的壓力控制,優化氦氣和氬氣的流量,從而提高晶圓冷卻效率。

優點:
- 壓力控制更穩定、更精確
- 質量流量傳感器(可選)
- 兼容各種配件
- 符合RoHS標準
技術參數與應用價值
GR-511F壓力控制器在技術參數上表現出色,能夠在不同的環境條件下保持穩定的工作狀態。其兼容性使其能夠與多種配件結合使用,進一步提升了其應用價值。尤其是在半導體制造過程中,精準的氣體流量控制對于確保生產質量和效率至關重要。
此外,GR-511F壓力控制器符合RoHS標準,確保其在環保方面的合規性。這一特點使其在環保意識日益增強的市場中具有更強的競爭力。
為什么選擇上海進佳科學儀器有限公司
上海進佳科學儀器有限公司位于上海浦東新區,是流量控制與過程連接解決方案的專業提供者。公司與多家國際知名品牌保持長期合作關系,代理美國KING、Dwyer、degreeC、日本HORIBA、YAMATO、韓國TKF、SUPERLOK等品牌,其中Dwyer和HORIBA分別代理20年和15年。
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